近日，合肥欣奕華完成業內首臺Micro LED接觸式線路斷路/短路（下稱“OS”）缺陷檢測設備量產并向業內頭部企業交付。設備幫助客戶實現了Micro LED新型顯示面板生產良率的提升。

　　據介紹，合肥欣奕華此次量產交付的Micro LED OS檢測設備，通過接觸式檢測可以對驅動電路基板的線路缺陷進行快速定位，在對產品沒有損傷的前提下，可同時進行多達4000個點位測試，短路檢出率高達100%，斷路檢出率高達99.5%以上。

　　此外，該設備通過細微線路缺陷檢測技術，選用高精度微針、快速對位算法，以及適應多品類產品的缺陷檢測工藝方法和規范化應用技術，可實現6-22英寸產品的無極兼容測試，單片產品測試時間可在55s以內完成。在需要切換產品種類時，該設備也可實現測試工藝的快速自動調整。

　　圖片來源：合肥欣奕華

　　據悉，合肥欣奕華成立于2013年，由北京欣奕華科技有限公司控股，主營業務包括泛半導體產業工業機器人、智慧工廠解決方案，以及高端制造裝備。公司可為客戶提供Mini/Micro LED等檢測設備，包括點燈AOI、外觀AOI、斷/短路檢測設備等。

　　Micro LED設備廠商動態接連不斷

　　近期，多家Micro LED設備制造商的動態引起了業界的關注。除了合肥欣奕華外，錼創、精測電子、大族半導體以及壹倍科技等企業在Micro LED設備領域也有了新的進展。

　　9月19日，精測電子 Micro LED CT AOI檢測設備順利出機正式交付某省級實驗室客戶。其自主研發的晶圓外觀檢測設備主要采用顯微光學方案針對晶圓的μm級外觀缺陷進行檢測及量測;同時可擴展到晶圓Bumping 3D量測及LED 3D量測應用。

　　壹倍科技 于8月15日宣布，其自主研發與生產的Micro LED晶圓級AOI巨量檢測設備順利交付至Micro LED巨量轉移領域頭部客戶。該設備能夠在數分鐘內檢測Micro LED COW或COC晶圓上數千萬顆芯粒的缺陷或位置量測，最小可檢出亞微米級的缺陷和偏移。

　　錼創和大族半導體則是首次展出Micro LED巨量轉移設備。

　　錼創 在9月4-6日舉辦的SEMICON Taiwan半導體展中，首次公開展示Micro LED巨量轉移設備。該設備重約十噸，可將六英寸晶圓上的RGB微型LED精準轉移至不同尺寸的面板上，為Micro LED大尺寸應用提供了可能。

　　錼創日前還表示，公司對今年Micro LED產業的發展持樂觀態度，預計通過增加銷售設備業務，轉移設備將貢獻約10%-20%的營收，并將擴大開發歐美市場。

　　大族半導體 于9月10-12日舉辦的CIOE中國光博會上，首次實體展出了全自動Micro LED巨量轉移設備DM100-M0406B。該設備轉移良率可達99.99%以上，可實現最小尺寸5μm，間距5μm的芯片加工，具有自動CCD校正、自動上下料等多種功能。

　　上述進展表明，Micro LED設備制造商正在不斷推動技術的發展和應用的擴展，相關設備已獲得客戶的認可與使用。這些進展對于Micro LED行業的長期發展是一個積極的信號，預示著該技術在未來可能會在更多領域得到應用。