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設備名稱
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數量
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技術參數
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PECVD系統（CG201601007）
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1、微波激勵氣體放電在反應室產生長時間穩定等離子體；
2、可進行薄膜材料的制備和樣品表面改性、清洗、刻蝕、接枝、聚合等；
3、可均勻處理200mm×200mm樣品；
4、配有四組線形微波等離子體源，（可按要求配備八組線形微波等離子體源）；
5、配有四路微波發生器，每路微波發生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成，微波頻率2.45GHz，微波功率0~800W連續可調，帶有微波輸出功率顯示（精確至1W），可長時間連續工作；
6、基片臺位置與線形微波等離子體源的距離可調節；
7、基片臺可加DC（直流）偏置電壓，偏置電源電壓0~500V連續可調，最大輸出電流1A；
8、基片臺為等離子體自加熱（可按要求添加外加熱系統）；
9、三路氣體輸入，在反應室頂部均流輸入工作氣體，氣體流量由MFC控制；
10、真空系統采用旋轉泵，反應室氣壓由手動節流閥調節控制；
11、配備冷卻水循環系統，無水源要求，確保裝置高功率下長時間安全穩定運行；
12、裝置采用380V三相電源，最大功率12KW。
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PM2.5深度控制實驗系統（CG201601009）
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1、采用靜電除塵方式，能實現PM2.5脫除效率大于99%；
2、除塵器外殼體可拆卸，極板間距可調，極線可更換，包括電磁振打系統，模擬振打粉塵脫落，包括灰斗及輸灰卸灰系統；
3、煙氣溫度、濕度、流速、進口粉塵濃度可調，且實現煙氣參數、粉塵參數、電氣參數的計算機一體化顯示與控制；
4、顆粒脫除過程指示燈，展示顆粒脫除的原理；
5、線板式電除塵器，異極距100mm，煙氣量200標方，煙氣溫度最高200℃；
2、芒刺型電極，頂部懸吊固定、絕緣瓷套采用95瓷；
3、電加熱器，功率20KW，K型熱電偶實時監測溫度，并進行PID溫度反饋調節電加熱器功率，溫度范圍10~200℃。
配置：電除塵器本體、極線及極線固定、管式電加熱器、加熱保溫系統、溫度檢測系統、變頻風機、電磁振動給料機、電磁振打系統、計算機控制模塊。
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智能環保島仿真系統（CG201601010）
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1
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1、污染物濃度在線監控與信號傳輸；
2、環保島3D全景模擬平臺；
3、控制系統界面展示；
4、系統運行工況模擬；
5、工作原理展示，系統及設備剖面展示；
6、設備運行評估；
7、遠程信號連接；
8、數據存儲；
9、多控制界面兼容；
10、多種傳感器信號兼容；
11、控制器與DCS通訊兼容；
12、多種數據傳輸格式兼容；
13、自我保護與數據備份；
14、符合污監控系統通訊規范；
15、控制系統長時間穩定可用；
配置：
1、污染源排放過程監控柜；
2、數模（A/D）轉換器；
3、UPS不間斷電源；
4、工控機；
5、前端軟件；
7、3D全景模擬平臺。
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S03在線測試系統（CG201601011）
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1
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1、能夠實現對寬溫度范圍內SO3的精確采樣及測量；
2、可實現數據的集中采集與遠程操作；
3、可實現在線連續監測；
4、280℃高溫伴熱采樣，吸收室溫度可保證260℃，并對固體顆粒進行過濾；
5、對采樣煙氣進行0℃冷凝處理，保證充分吸收，并實現氣液分離；
6、量程0~100ppm，示值誤差＜±3%；
4、試劑更換周期不低于一周。
配置：高溫采樣裝置、預處理器、SO3在線測分析儀及相關標準試劑盒分析試劑。
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可凝結顆粒物在線測量系統（CG201601012）
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1、分兩路實現可凝結顆粒物與可過濾顆粒物平行實時等速采樣；
2、配有可凝結顆粒物長大室，包括干燥冷空氣配氣系統、溫度/濕度監測器、停留室等，實現可凝結顆粒物冷凝長大；
3、配有可凝結顆粒物測試分析裝置，同時采樣過濾可凝結顆粒物與可過濾顆粒物，分為采樣過濾裝置、樣品處理裝置、高精度（0.01mg）分析天平等；
4、配有自動控制系統，等速采樣控制模塊（流速5~15m/s）、溫度控制模塊(50~150℃)、稀釋比（5~20倍）控制模塊；
5、等速采樣控制模塊（流速5~15m/s）、溫度控制模塊(50~150℃)、稀釋比（5~20倍）控制模塊；
6、分析系統測試精度0.01mg；
7、實時監測溫度、濕度、采樣流速。
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大氣灰霾模擬系統（CG201601013）
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1、機架式外觀，平臺至少128個物理核心，256個邏輯處理核心，主頻至少2.2GHz，高速智能三級緩存至少為40MB，理論雙精度浮點計算能力至少4505.6Gflops；
2、核心與內存比為1:2；
3、至少8TB的數據存儲空間；
4、不低于1TB SSD系統運行空間；
5、協助完成平臺搭建；
7、高效散熱系統；
8、對整個系統提供管理，用戶管理與登錄、系統開關支持、系統散熱性能監控、文件系統維護、用戶軟件系統安裝；
9、用戶可遠程登錄系統，系統可用性強；
10、支持多種擴展接口，方便后續升級；
11、預裝Linux 64位操作系統，集成BLAS、ATLAS、LAPACK、ScaLAPACK、FFTW等科學計算庫；
12、提供MPI并行計算環境、浮點計算數學庫及相關C+。
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能源低碳利用實訓臺架（CG201601014）
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1、超低濃度碳捕集模塊：
1.1、CO2入口濃度400ppm，吸附劑捕集效率>90%；
1.2、CO2捕集量>10kg/d，處理空氣量1300立方每天，迎風面積20m2；
1.3、溫度控制范圍0~40℃，精度±0.1℃；
1.4、CO2檢測精度<讀數1%，量程0~20000ppm；
1.5、H2O檢測精度<讀數1.5%，量程0~60ppt，溫濕度0.5s跟蹤；
1.6、氣體泄漏率小于1%。
2、碳生態利用模塊：
2.1、總容積大于1.5立方米；
2.2、內部CO2分壓1000ppm~1%可調；
2.3、濕度60~100%可調，精度±0.2%。
3、碳礦化利用模塊：
3.1、溫度控制范圍0~110℃，精度±0.1 ℃，試驗內置溫度傳感器，1秒間隔實時監測；
3.2、壓力控制范圍0~7Mpa，精度±0.01Mpa；
3.3、養護室容積大于200ml，緩沖室容積大于400ml。
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絕熱材料表觀熱導率測試臺（CG201601024）
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